2015年12月，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金大基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立江蘇鑫華半導體材料科技有限公司，打造國內(nèi)首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產(chǎn)線。2017年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。鑫華電子級多晶硅的自主生產(chǎn)，標志著我國電子級多晶硅突破海外多年技術封鎖，填補國家集成電路產(chǎn)業(yè)專項一項空白。
集成電路用高純硅料項目是工業(yè)和信息化部強基工程中標項目、科技部02專項子項目，自去年電子級多晶硅產(chǎn)品面世以來，為了盡快推向市場，鑫華半導體與國內(nèi)晶圓加工廠廣泛接觸，開展新產(chǎn)品測試，晶圓廠家測試后，再向下游的芯片廠家提出新產(chǎn)品測試。一層層測試下來，從眾多手機廠家反饋回來的信息，沒有想到國內(nèi)多晶硅廠家能夠生產(chǎn)出等級這么高的產(chǎn)品，完全達到國際一流電子級多晶硅各項指標。
江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經(jīng)理田新告訴記者，就電子級多晶硅而言，這是鑫華半導體研發(fā)團隊歷經(jīng)317次電子級多晶硅生產(chǎn)試驗一年多時間，對629項技術、設備優(yōu)化改進，以70%的國產(chǎn)設備，系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問題，實現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)，并且全球首創(chuàng)采用自動化無接觸硅料處理系統(tǒng)。目前，公司正在就相關技術和工藝申請國家專利。在5月份實現(xiàn)對韓國出口高純度硅料后，鑫華半導體公司最近還要向我國臺灣地區(qū)的晶圓廠家批量供應集成電路用硅料。
現(xiàn)在，鑫華半導體公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，產(chǎn)品向國內(nèi)國際市場鋪開后，可保證國內(nèi)企業(yè)三至五年內(nèi)電子級多晶硅不會缺貨。未來兩三年內(nèi)，還將計劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足國際國內(nèi)市場。
